远心嵌入式系列
液态镜头
产品
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ST4-R350/ST5-R450/R550/R650
倒挂机器人
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OLED贴合组装十字平台
OLED贴合组装十字平台
客户需求
叠十字外高H≤140mm 双工位十字等高要求——共面误差＜20μm 单轴重复定位精度±1μm【全程】，单向1mm，2mm，3mm短点寸动——绝对定位误差＜2μm/3mm 高速高加速响应，速度＞1m/s，加速度＞0.5g
方案优势
采用高精度低线性膨胀系数玻璃基材光栅尺（及配套光编）
十字模组严格制程几何精度管控，最后，双工位十字等高加工
滑板轻量紧凑，多头同时点胶节省CT，提升工站柔性作业
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