远心嵌入式系列
液态镜头
产品
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晶圆切割-定龙门大理石十字平台
晶圆切割-定龙门大理石十字平台
客户需求
设备精度要求重复定位精度≤±0.5μm产品工艺要求单轴偏摆直线度≤2μm，俯仰直线度≤8μm 匀速段速度波动<0.2%(@500mm/s) 单轴最大速度500mm/s，加速度1G 交期不超过35Days
方案优势
主体部分采用天然大理石，结合SP级导轨，保证重复定位精度及直线度
偏摆直线度调试采用激光干涉仪作为测量工具
选用灵猴无铁芯电机+ACS走模拟量控制，控制速度波动
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